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　　AMC空氣分析污染物監(jiān)測獵戶座 3100S 系統(tǒng): 完善的空氣分子污染(AMC)監(jiān)測實時監(jiān)測空氣分子污染(AMC)對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程尤為重要。快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。
 

　　AMC在線監(jiān)測的原理是利用空氣質(zhì)量傳感器對大氣中的微量污染物進行實時監(jiān)測和分析，根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)處理和報警。操作流程如下：
 

　　1、空氣采集：采用專業(yè)的氣采系統(tǒng)對大氣中的微量污染物進行采集。
 

　　2、傳感器監(jiān)測：利用空氣質(zhì)量傳感器對采集的空氣樣品進行實時監(jiān)測和分析。
 

　　3、數(shù)據(jù)處理：將監(jiān)測到的數(shù)據(jù)進行處理和分析，得出相關(guān)的數(shù)據(jù)結(jié)果。
 

　　4、報警處理：根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù)進行報警，提醒企業(yè)進行相應(yīng)的環(huán)保和安全措施。