空氣分子污染物對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
空氣分子污染物監(jiān)測集成了多點監(jiān)測系統(tǒng)，可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器，并讀出測量結(jié)果。儀器基于腔增強吸收光譜技術(shù)，極簡使用、便捷操作，所有部件（包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標、顯示器等）幾分鐘內(nèi)可開始記錄數(shù)據(jù)，其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構(gòu)成交叉干擾。內(nèi)置計算機可以存儲大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤上，可同過數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù)，可通過互聯(lián)網(wǎng)遠程存儲或記錄數(shù)據(jù)，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫，適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。
空氣分子污染物監(jiān)測設備的工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。
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