潔凈室不像我們?nèi)粘Ｉ钪械姆块g，它不允許你隨便進(jìn)出，它是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。
對(duì)于潔凈室的潔凈室潔凈程度的維持和控制，除了硬件設(shè)備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的微污染來源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵埃有顯著的增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。
控制、檢測(cè)方法：
1、控制工藝設(shè)備及工藝的產(chǎn)塵
潔凈室內(nèi)的工藝設(shè)備應(yīng)選料精良，光潔耐磨，那些轉(zhuǎn)動(dòng)、滑動(dòng)部位格外重要，要盡可能地減少磨損及產(chǎn)塵。對(duì)于那些產(chǎn)塵的工藝過程要盡可能地將其封閉或設(shè)置圍擋，并輔以排風(fēng)，形成局部范圍相對(duì)于潔凈室的負(fù)壓，以限制污染物向潔凈室其他區(qū)域擴(kuò)散。對(duì)室內(nèi)的機(jī)器設(shè)備定期地進(jìn)行清潔、擦拭是必要的制度，也是減少積塵二次飛揚(yáng)的有效措施。
2、不同級(jí)別相鄰潔凈室間的壓差
防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向潔凈室傳播污染的主要方法是：維持高潔凈度區(qū)域相對(duì)于低潔凈度區(qū)域、低潔凈度區(qū)域相對(duì)于服務(wù)區(qū)域、服務(wù)區(qū)域相對(duì)于室外有一個(gè)合適的正壓值。根據(jù)不同的情況，不同級(jí)別相鄰房間的正壓值約為5Pa-10Pa。讓不同潔凈度的各級(jí)房間維持梯次的壓差，目的是當(dāng)房間門處于關(guān)閉情況時(shí)，通過縫隙的氣流流向是由高級(jí)別潔凈室流向低級(jí)別潔凈室、由低級(jí)別潔凈室流向走廊和服務(wù)區(qū)，再流向室外。
這樣就可減少由室外向服務(wù)區(qū)域，服務(wù)區(qū)域向低級(jí)別潔凈室，低級(jí)別潔凈室向高級(jí)別潔凈室傳播空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，許多理論研究和實(shí)踐都證明，人員、物料通過門時(shí)，即便門兩側(cè)關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa，仍難避免隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的攜帶氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩側(cè)存在溫度差時(shí)，門敞開后，即便無人走動(dòng)，在開口斷面部分面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。
此外，過高的正壓差還會(huì)造成潔凈室的門既難開啟又難關(guān)嚴(yán)，門縫氣流造成哨聲噪聲，以及因氣流外溢過量而補(bǔ)風(fēng)量增加，浪費(fèi)能源和加重各級(jí)過濾器的負(fù)擔(dān)。
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