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伯東企業(yè)（上海）有限公司
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更新時(shí)間：2025-05-28 10:21:16瀏覽次數(shù)：25次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)
Pfeiffer 分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)
真空探針臺(tái)一般用于復(fù)雜, 高速精密器件進(jìn)行表面觀測(cè)以及各種性能測(cè)試的儀器, 通過測(cè)試可以保障產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本. 探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè), 光電行業(yè), 集成電路以及封裝的測(cè)試
為什么需要真空環(huán)境?
1. 真空探針臺(tái)通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測(cè), 水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓. 水氣會(huì)影響測(cè)量, 導(dǎo)致測(cè)量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當(dāng)晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時(shí), 會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學(xué)性, 物理性和機(jī)械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.
上海伯東渦輪分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)客戶案例: 某企業(yè)通過上海伯東推薦采購德國 Pfeiffer 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結(jié)合, 整機(jī)設(shè)計(jì), 即插即用, 提供清潔, 低振動(dòng), 穩(wěn)定的高真空環(huán)境.
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵組 HiCube Eco 技術(shù)規(guī)格
| 泵組型號(hào) | 進(jìn)氣法蘭 | 分子泵 | 抽速 | 極限真空 | 前級(jí)泵型號(hào) | 前級(jí)泵 |
| Hicube 80 Eco | DN 40 ISO-KF | HiPace 80 | 35 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 0.5 |
| DN 63 CF-F | HiPace 80 | 67 | 1X10-8 | MVP 015-2 | 1 | |
| DN 63 ISO-K | HiPace 80 | 67 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 1 |
Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設(shè)計(jì), 內(nèi)部集成前級(jí)泵和分子泵, "即插即用", 抽速范圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經(jīng)濟(jì)型分子泵組 ECO, 標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Classic 和高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計(jì)共同使用.
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