材質(zhì)	不銹鋼	工作溫度	真空
加工定制	否	連接形式	快裝
流動方向	雙向	驅(qū)動方式	氣動
適用介質(zhì)	氮氣,空氣	壓力環(huán)境	高壓

上海伯東 HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡

詳細(xì)介紹

價格電議
美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡. HVA 三位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的*關(guān)閉和*開啟, 另一個電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點
1. 機械預(yù)設(shè), 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：

閥門材質(zhì)：
閥門主體	304不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷	硬質(zhì)不繡鋼
閥門密封方式：
高真空	氟橡膠
漏率	<2×10^-9 mbar l/s
差壓關(guān)閉	1 bar
真空：
壓力范圍	高真空1x10^-9mbar
漏率	< 2x10^-9mbar l/S
差壓關(guān)閉	1 bar (任意位置)
開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門主體	150 °c
驅(qū)動方式	氣動 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
公稱通徑：DN100-320 mm