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電子工業(yè)廢氣VOCS主要來(lái)源于對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工序。一般來(lái)說(shuō)，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些氣體。
電子廠廢氣處理方法（1）預(yù)處理階段：一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。（2）主要處理階段：在此階段，比較常見(jiàn)而有效方法有：UV光解，活性炭吸附、生物過(guò)濾分解，焚燒和催化燃燒等。
丹陽(yáng)電子廠廢氣處理工藝電子廠廢氣處理行業(yè)里不斷的實(shí)行者，我們經(jīng)過(guò)多年的實(shí)踐和總結(jié)，今天和大家分享一下活性炭吸附塔的相關(guān)資料。
活性炭吸附塔又可稱(chēng)為活性炭吸附器、活性炭吸附過(guò)濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過(guò)濾吸附異味的環(huán)保設(shè)備產(chǎn)品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質(zhì)制作。活性炭吸附塔具有吸附效率高、適用面廣、維護(hù)方便、能同時(shí)處理多種混合廢氣等優(yōu)點(diǎn)，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。
電子工業(yè)從產(chǎn)品來(lái)分的話，自上而下可以分為電子整機(jī)產(chǎn)品和電子基礎(chǔ)產(chǎn)品，還有電子材料等三個(gè)部分，其中包含有：光電器件、半導(dǎo)體器件、電子元件及電子終端產(chǎn)品等方面。電子廠廢氣的主要來(lái)源是對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見(jiàn)的種類(lèi)有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。
丹陽(yáng)電子廠廢氣處理工藝的幾種方法進(jìn)行簡(jiǎn)單介紹一下：
1、焚燒法（RTO）：能耗大、運(yùn)行成本高，適合處理高濃度、小風(fēng)量有機(jī)廢氣；
2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡(jiǎn)單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求；
3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機(jī)廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價(jià)值的有機(jī)物。此法適用濃度高、風(fēng)量小的有機(jī)廢氣處理場(chǎng)合。缺點(diǎn)是：投資、能耗、運(yùn)行費(fèi)用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當(dāng)部分液態(tài)廢棄物需要進(jìn)一步處理。該方案與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系，偏離這種匹配關(guān)系將提高治理成本，影響治理效果；
4、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強(qiáng)于氬弧焊光源的數(shù)十倍強(qiáng)度）在設(shè)備內(nèi)，強(qiáng)裂解惡臭物質(zhì)分子鏈，改變物質(zhì)結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)，裂解、氧化成為低分子無(wú)害物質(zhì)，如水和二氧化碳等；
5、高溫等離子凈化法：經(jīng)過(guò)壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應(yīng)器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢(shì)的雙重作用下，有機(jī)廢氣瞬間(萬(wàn)分之5秒)成為高溫等離子體，其中長(zhǎng)分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機(jī)物凈化率在90%左右。
