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ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹超緊湊的尺寸軟電暈預(yù)電離高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器激光頭體積TMC（全金屬陶瓷）容器集成真空泵和鹵素過濾器風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成可沖洗光學(xué)支架能量穩(wěn)定模式ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應(yīng)用而設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

超緊湊的尺寸

軟電暈預(yù)電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學(xué)支架

能量穩(wěn)定模式

ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品參數(shù)

氣體介質(zhì)	ArF		KrF
波長 nm	193		248
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)		固態(tài)開關(guān)
重復(fù)率max. Hz	300	500	300	500
脈沖能量max. mJ	10	10	15	15
平均功率max. W	2.4	4	4	6
脈沖持續(xù)時(shí)間 ns	5-8
光束尺寸（V x H） mm	4 x 6
光束發(fā)散角（V x H）mrad	1 x 2
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）%	< 3
尺寸（長x寬x高）mm	630 x 400 x 300
重量 kg	65
冷卻	空氣
電源要求	230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz