SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI

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產(chǎn)品型號(hào)SP 5000 DI

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更新時(shí)間：2024-05-13 08:24:13瀏覽次數(shù)：213次

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  光學(xué)檢測(cè)設(shè)備

位敏探測(cè)儀

反射率測(cè)量設(shè)備

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光學(xué)檢測(cè)儀器

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天津瑞利光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹高精度的差分長(zhǎng)度和角度測(cè)量傳感器頭由不銹鋼制成長(zhǎng)期穩(wěn)定性高差分測(cè)量使環(huán)境影響更小化SIOS的超穩(wěn)定差動(dòng)激光干涉儀SP5000DI具有的熱穩(wěn)定性，可用于研究和開(kāi)發(fā)中的長(zhǎng)期測(cè)量，例如材料測(cè)試

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

高精度的差分長(zhǎng)度和角度測(cè)量

傳感器頭由不銹鋼制成

長(zhǎng)期穩(wěn)定性高

差分測(cè)量使環(huán)境影響更小化

SIOS的超穩(wěn)定差動(dòng)激光干涉儀SP 5000 DI具有的熱穩(wěn)定性，可用于研究和開(kāi)發(fā)中的長(zhǎng)期測(cè)量，例如材料測(cè)試。得益于其設(shè)計(jì)，借助外部參考光束，可以將測(cè)量系統(tǒng)放置在距測(cè)量位置更長(zhǎng)的距離處，而不會(huì)明顯影響測(cè)量的分辨率或穩(wěn)定性。干涉儀的長(zhǎng)度分辨率為5 pm，這歸功于測(cè)量系統(tǒng)的微分原理，即使在正常實(shí)驗(yàn)室條件下也可以實(shí)現(xiàn)。

如果使用傾斜不變反射器進(jìn)行長(zhǎng)度測(cè)量，則測(cè)量范圍為幾米。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此可以適應(yīng)特定的測(cè)量任務(wù)?？梢院?jiǎn)單且長(zhǎng)期穩(wěn)定地進(jìn)行調(diào)整。在SP 5000 DI干涉儀的基礎(chǔ)上構(gòu)建多軸系統(tǒng)還可以進(jìn)行多坐標(biāo)測(cè)量。

產(chǎn)品參數(shù)

位移測(cè)量范圍：5 m

位移分辨率：5 pm

角度測(cè)量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分

光束距離（標(biāo)準(zhǔn)）：21 mm

波長(zhǎng)：632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性（預(yù)熱時(shí)間之后）：2·10^-8

HeNe激光器的預(yù)熱時(shí)間：10 ... 20 min

工作溫度范圍：15 ... 30°C

測(cè)量反射鏡的位移速度：max.3 m /s