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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


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INTELLEMETRICS晶圓視覺系統(tǒng)VS3

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產(chǎn)品型號(hào)VS3

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更新時(shí)間：2024-05-03 08:59:09瀏覽次數(shù)：152次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)和控制儀器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于在負(fù)載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認(rèn)相對(duì)于掩模圖案的對(duì)齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場(chǎng)，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場(chǎng)下可以獲得7μm的分辨率。

性能特點(diǎn)
  • 5 M 像素高分辨率相機(jī)圖像
  • 共線晶圓照明
  • 成像距離從100mm到1000mm
  • 可見特征尺寸低至 5um
  • 手動(dòng)和電動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：英國
  • 攝像頭：
  • 傳感器類型：CMOS
  • 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
  • 像素大小：2.2um
  • 電源要求：
  • 接口：GigE
  • 電源：12至24 Vdc
  • 功耗：3.5W
  • 是否進(jìn)口：是
  • 封裝：廠家制定
  • 性能：良好
  • 可靠性：高
產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵詞：電源IC
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