GIGAPHOTONGT45A

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產(chǎn)品型號GT45A

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更新時間：2024-05-03 08:20:27瀏覽次數(shù)：83次

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天津瑞利光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴展性的機型

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴展性的機型。通過搭載新型模塊實現(xiàn)的“高運轉(zhuǎn)率”、繼承當前機型GT40A的“無氦氣”技術，可以在提高生產(chǎn)率的同時，減輕環(huán)境負荷。通過光譜寬度的穩(wěn)定性改善、可變光譜技術、高可達90W的高輸出功率，滿足客戶的多樣化需求。

性能特點

模塊壽命延長技術

降低維護頻率

提高生產(chǎn)率

減輕環(huán)境負荷

可選功能與配件

可以搭載GT65A可使用的功能和技術

技術參數(shù)

產(chǎn)地：日本

發(fā)射波長：193 nm

平均輸出功率：45 – 90 W

脈沖能量：11.25 – 15 mJ