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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


GIGAPHOTONGT45A

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產(chǎn)品型號GT45A

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:瑞麗查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-05-03 08:20:27瀏覽次數(shù):83次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:1081條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:瑞麗 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺,具備高功能擴展性的機型

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺,具備高功能擴展性的機型。通過搭載新型模塊實現(xiàn)的“高運轉(zhuǎn)率”、繼承當前機型GT40A的“無氦氣”技術,可以在提高生產(chǎn)率的同時,減輕環(huán)境負荷。通過光譜寬度的穩(wěn)定性改善、可變光譜技術、高可達90W的高輸出功率,滿足客戶的多樣化需求。

性能特點

模塊壽命延長技術

降低維護頻率

提高生產(chǎn)率

減輕環(huán)境負荷

可選功能與配件

可以搭載GT65A可使用的功能和技術

技術參數(shù)

產(chǎn)地:日本

發(fā)射波長:193 nm

平均輸出功率:45 – 90 W

脈沖能量:11.25 – 15 mJ

發(fā)射頻率:4,000 – 6,000 Hz

光譜幅度(以 95 %能量累計,E95,):≤0.5 pm

數(shù)據(jù)采集:監(jiān)控的方式

輸出方式:晶圓輸出

光譜帶寬:可變化

光譜寬度:穩(wěn)定

產(chǎn)品應用

半導體工業(yè)

產(chǎn)品參數(shù)


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