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全自動碳化硅外延最終清洗機

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更新時間：2022-08-15 15:00:39瀏覽次數(shù)：363次

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：Henry （大區(qū)經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

生產(chǎn)主線為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個制程工位, 設(shè)置為6" *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下『啟動鍵』，Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達成一貫性自動控制的功能。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽......

詳細介紹

產(chǎn)品詳情：

項目		說明
機臺數(shù)量		1臺（套）；
機臺重量		XX Kg(預(yù)估值)；
清洗能力（采購方提供cassette樣品）		6inch 1cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
產(chǎn)能要求		濕法制程清洗工藝XXXX XXXPCS/ Run（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預(yù)估值）；
設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）		室內(nèi)放置型；
機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)		聚丙烯PP 10T（）；
		阻燃聚丙烯PP10T （）；
		色聚氯乙烯PVC 10T （√）；
		SUS304單鏡面板材1.5T（）；
機臺視窗	材質(zhì)	透明之聚氯乙烯PVC 5T （√）；
		SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃5T（）；
	模式	上下舉升式（）；
		左右推拉式（√）；
機臺主機強度結(jié)構(gòu)		整體SUS304不銹鋼/碳鋼結(jié)構(gòu)骨架（4040 4080）；
防漏盤	材質(zhì)	聚丙烯磁白PP板材；
	模式	分體式每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；
漏液檢測裝置	材質(zhì)	防腐材質(zhì)；
	點式	單點式漏液檢測sensor，管路區(qū)和防漏盤均安裝漏液檢測；
其它	水平調(diào)整	通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；
	設(shè)備移動	設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；
臺面板	材質(zhì)	￠5mm左右洞洞結(jié)構(gòu)（√）；
		￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)（）；
		相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時漏液（√）；
	模式	可拆式（√）；
		一體式（）；
排風(fēng)系統(tǒng)	排風(fēng)口位置	設(shè)備后頂部（）；
		設(shè)備后下部（）；
		設(shè)備后部（√）；
	排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)	1）排風(fēng)強勁合理設(shè)計，為了排風(fēng)效果達到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2)為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達到使用效果； 3)設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)； 4）工藝腔內(nèi)每個工藝槽對應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu)；
機臺的電控系統(tǒng)		安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由 PLC、IPC、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機臺可存儲 X 套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有 3 級加密進入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；

規(guī)格特點

01）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
02）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；
03）工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
04）整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
05）整機采用PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
06）整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
07）整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
08）機臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標準設(shè)置接地保護斷路器；
09）整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
10）清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；
11）設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使有機液揮發(fā)氣體的污染最小化；
12）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
13）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
14）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管；
15）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；
16) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；
17）機臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
18）機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
19）工藝槽槽體傾斜式，便于排空；
20）機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達到節(jié)能目的；
22）廢液排放，每個工藝槽采用獨立排放管道，對應(yīng)QDR也采用獨立排放口；
23）排風(fēng)，工藝腔內(nèi)每個工藝槽對應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu)；
24）換液提醒功能，所有制程能根據(jù)配液時間或運行批次數(shù)量通知換酸；
25）工藝結(jié)束可以設(shè)置預(yù)先報警功能，預(yù)報警聲音和實際報警聲音要有所區(qū)分；
26）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；
27）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
28）搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
29）搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
30）搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
31）上下料方向：左進右出，花籃水平放置；
32）顆粒指標，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個/cm2；
33）目前金屬離子殘留測試，包括XX種元素：------,每一種金屬元素殘留指標均要求