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常州藍陽環(huán)保設備有限公司
主營產(chǎn)品： 活性炭再生設備,活性炭吸附催化燃燒,活性炭脫附催化燃燒 |
公司信息
| 參考價 | ￥ 85487 |
| 訂貨量 | 1 件 |
- 型號
- 品牌
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 常州市
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更新時間：2022-04-15 16:49:50瀏覽次數(shù)：558
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在半導體芯片生產(chǎn)線制程工藝中，會產(chǎn)生大量的酸堿及VOCs有機污染物等有毒有害氣體。如果直接排放就會對大氣和人的身體健康造成較為嚴重的危害。
半導體芯片生產(chǎn)線廢氣介紹
廢氣成分：半導體芯片生產(chǎn)線廢氣主要包括酸堿廢氣和有機廢氣兩類。酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。有機廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；
廢氣來源：在半導體芯片生產(chǎn)線造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來源于芯片生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
廢氣特點：半導體芯片生產(chǎn)線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點。
主要危害：半導體芯片生產(chǎn)線對大氣的污染，主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發(fā)造成對大氣環(huán)境的污染，以及整機裝配過程中產(chǎn)生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環(huán)境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。
半導體芯片生產(chǎn)線廢氣處理設備工藝
半導體芯片生產(chǎn)線廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理、堿性廢氣處理、有機廢氣處理等。
1、半導體芯片生產(chǎn)線廢氣處理設備酸堿性廢氣處理工藝工作原理：
（1）立式廢氣洗滌塔工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸性或堿性廢氣由塔下部進口進入塔內(nèi)向上運動，通過單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經(jīng)過上層的除霧層排出，從而達到吸收和凈化效果；
（2）臥式廢氣洗滌塔的工作原理為氣液兩相交叉流接觸，酸堿廢（尾）氣通過填料層段時與液相充分接觸后吸收或中和，從而達到吸收或凈化的效果。
主要設備：
（1）洗滌塔設備樣式：洗滌塔的結構型式分為立式和臥式。
（2）洗滌塔設備組成：包括塔體、填料層、除霧層、循環(huán)水管路及循環(huán)水箱等。
（3）洗滌塔設備材料：廢氣處理設備以PP為主要材料生產(chǎn)，填料采用PP材質(zhì)的鮑爾環(huán)。
工藝流程：
酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪（達標排放）
酸堿廢氣經(jīng)過收集管道集中收集后按照各自的系統(tǒng)進入相應的化學洗滌塔進行噴淋處理，化學洗滌塔通過內(nèi)部的噴淋系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、填料過濾系統(tǒng)、除霧系統(tǒng)、自動加藥系統(tǒng)、自動補排水等系統(tǒng)對進入化學洗滌塔的廢氣進行化學吸收、除霧，經(jīng)過處理后的廢氣達標排放。
