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矩形超高真空插板閥(氣動)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:張小查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-08-30 08:21:51瀏覽次數(shù):128次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:142條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:張小 (運營)

產(chǎn)品簡介

矩形超高真空插板閥為氣動驅(qū)動方式,外形上美觀,并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點,是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動化閥門之一。

詳細介紹

一、矩形超高真空插板閥概述

此系列閥門為氣動驅(qū)動方式,在結(jié)構(gòu)上設(shè)計合理,外形上美觀,并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點,是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機構(gòu),帶著驅(qū)動體沿軸向運動,驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。


二、矩形超高真空插板閥特點

采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu),閥板受力均勻,閥門開啟沖擊振動小,噪聲低;

四滾輪支撐運動機構(gòu),動作平穩(wěn),運動噪聲??;

動密封采用波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,密封可靠;

閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率??;

在更小的體積上,一次性通過更多的工件,合理使用了空間。


產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品名稱:

矩形超高真空插板閥(氣動)

三、矩形超高真空插板閥參數(shù)


類型: 插(閘)板閥

驅(qū)動方式: 氣動

閥體材料: 不銹鋼

適用真空: 高真空


適用范圍::1×10-6Pa~1.2×105Pa

打開時插板上的壓差:≤2×103Pa任意方向

閥體和閥座漏率:<>

保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,0000次

閥體烘烤溫度:≤150℃

安裝位置:驅(qū)動體水平或垂直

電源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊規(guī)格可定做)

壓縮空氣:0.5~0.7MPa


閥門開啟或關(guān)閉時間:根據(jù)公稱通徑而定

閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開關(guān)(磁性開關(guān))

閥門重量:以不同公稱通徑而定


產(chǎn)品細節(jié)

矩形超高真空插板閥



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