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CYR-E-HF氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀 泛半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備
| 參考價(jià): | ￥ 9999 | ￥ 8888 |
| 訂貨量: | 1套 | 10套 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- CYR-E-HF 產(chǎn)品型號(hào)
- 楚一測(cè)控 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 長(zhǎng)沙市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：48更新時(shí)間：2025-07-11 17:19:21
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 測(cè)量范圍 | 0-55% | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 在線 | 數(shù)顯功能 | 有 |
| 溫控功能 | 有 | 測(cè)量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
| 分 辨 率 | 0.01% | 重復(fù)精度 | ± 0.02% |
| 測(cè)量溫度 | 0至130℃ | 溫度補(bǔ)償 | 0至130℃ |
| 觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 防護(hù)等級(jí) | IP65 |
| 工藝壓力 | ≤1MPa | 安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
| 輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品介紹
氫氟酸（HF）是一種無(wú)色透明的液體，具有刺激性氣味，具備腐蝕性和毒性。氫氟酸能夠強(qiáng)烈腐蝕金屬、玻璃等多種材料，還易溶于水并形成溶液，具有揮發(fā)性，會(huì)釋放出氟化氫氣體。
在泛半導(dǎo)體制造中，氫氟酸被廣泛應(yīng)用于晶圓清洗，用于去除表面污染物以提高潔凈度；在氧化層刻蝕中，它能精確控制刻蝕深度和均勻性，實(shí)現(xiàn)精細(xì)圖形的轉(zhuǎn)移，同時(shí)還參與表面處理和化學(xué)拋光等工藝。然而，氫氟酸的濃度控制至關(guān)重要，它直接影響刻蝕速率和均勻性，進(jìn)而關(guān)系到芯片的性能和良率。濃度過(guò)高可能損傷精密設(shè)備，而濃度過(guò)低則無(wú)法達(dá)到理想的工藝效果。此外，控制氫氟酸濃度還能確保操作人員的安全，避免因接觸高濃度氫氟酸而造成傷害。
楚一測(cè)控氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀為泛半導(dǎo)體行業(yè)的氫氟酸濃度監(jiān)測(cè)提供了創(chuàng)新解決方案。傳統(tǒng)的離線分析方法不僅耗時(shí)、易出錯(cuò)，更無(wú)法滿足行業(yè)對(duì)實(shí)時(shí)監(jiān)控的嚴(yán)苛要求。而氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀專為泛半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，能夠?qū)ιa(chǎn)過(guò)程中的氫氟酸濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，滿足行業(yè)對(duì)高精度、高可靠性的需求。它可以在線監(jiān)測(cè)晶圓清洗槽中的氫氟酸濃度，確保清洗效果穩(wěn)定；實(shí)時(shí)監(jiān)控刻蝕液中的氫氟酸濃度，實(shí)現(xiàn)對(duì)刻蝕工藝的精確控制；還能用于氫氟酸回收系統(tǒng)，優(yōu)化回收效率，降低生產(chǎn)成本。在線折光儀的實(shí)時(shí)監(jiān)控功能能夠快速響應(yīng)，及時(shí)反映濃度變化，避免批次間的差異；其無(wú)損測(cè)量方式不接觸樣品，避免污染，保證工藝的純凈度；并且可以與控制系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化調(diào)節(jié)，提高生產(chǎn)效率。
氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀基于折光原理進(jìn)行測(cè)量。光線從棱鏡射入氫氟酸溶液時(shí)會(huì)發(fā)生折射現(xiàn)象，折射角的大小與氫氟酸的濃度有關(guān)，濃度越高，折射角越大。通過(guò)測(cè)量折射角并結(jié)合溫度補(bǔ)償，儀表可以精準(zhǔn)計(jì)算出氫氟酸的濃度。這種測(cè)量方式具有諸多優(yōu)勢(shì)：折射率測(cè)量精度高，能夠準(zhǔn)確反映濃度變化；抗干擾能力強(qiáng)，受樣品顏色和濁度的影響小；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)成本低。
選擇氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀，您將獲得專為泛半導(dǎo)體行業(yè)優(yōu)化的高性能設(shè)備。我們采用特種耐氫氟酸腐蝕材質(zhì)（超純PTFE、PFA），確保儀表在苛刻的化學(xué)環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，避免腐蝕造成的測(cè)量誤差。高精度光學(xué)傳感器和能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)氫氟酸濃度的準(zhǔn)確測(cè)量，滿足泛半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高精度的需求。內(nèi)置高精度溫度傳感器可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)溫度補(bǔ)償，消除溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，保證測(cè)量精度。同時(shí)，我們還提供定制化服務(wù)，可根據(jù)客戶的具體工藝需求，提供個(gè)性化的解決方案。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CYR-E-HF |
測(cè)量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
測(cè)量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測(cè)量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì)：超純PTFE或PFA；外殼：襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
信號(hào)輸出 | DC4至20mA & RS485；2路開(kāi)關(guān)量信號(hào)輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa（10Bar）更高壓力等級(jí)可定制 |
尺寸重量 | 傳感器：￠119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |
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