電阻率測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、錯(cuò)單晶、硅片)電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。測(cè)試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開(kāi)關(guān)及各種選擇開(kāi)關(guān)均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開(kāi)關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險(xiǎn)管。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板，相互間均通過(guò)接插件聯(lián)接。
特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。
電阻率測(cè)試儀配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配數(shù)據(jù)處理器，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分比變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測(cè)量帶來(lái)很大方便。
電阻率測(cè)試儀適用：電線電纜行業(yè)、導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料行業(yè)，碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部門對(duì)新材料之研究，是檢驗(yàn)和分析材料樣品質(zhì)量的一種重要的工具及有效方法。
