光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡系統(tǒng)輕松解決以上不足，*突破顯微鏡的光學(xué) 固有限制?？梢栽?0秒之內(nèi)得到樣品的三維立體圖像?？梢暂p松的對(duì)樣品不同高度進(jìn)行優(yōu)質(zhì)成 像，得到平面優(yōu)質(zhì)圖片，繼而構(gòu)建3D模型，并通過(guò)智能測(cè)量模式，準(zhǔn)確測(cè)量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時(shí)，本系統(tǒng)還提供共焦點(diǎn)云的全自由度模型三維觀察使得用戶(hù)能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過(guò)一體化的設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)顯微鏡3D觀察、測(cè)量。

光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡技術(shù)要求

光源是數(shù)碼成像的基礎(chǔ)之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實(shí)，形態(tài)多樣，長(zhǎng)壽命（大于3萬(wàn)小時(shí)），根據(jù)不同用途，有多種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能組建復(fù)式照明技術(shù)，配合數(shù)字消光技術(shù)（HDR)，能展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。

高精度壓電位移平臺(tái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)運(yùn)動(dòng)：

全新的壓電位移平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度、簡(jiǎn)便的控制方式、通過(guò)超薄的設(shè)計(jì)，減輕了整體重量，在運(yùn)動(dòng)中具有準(zhǔn)確性，與光譜共焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)結(jié)合，可實(shí)行大范圍精準(zhǔn)掃描，得到計(jì)量級(jí)結(jié)果

光譜共焦技術(shù)具有泛的材質(zhì)適應(yīng)性、穩(wěn)定性、檢測(cè)效率：

基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測(cè)量適應(yīng)性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實(shí)現(xiàn)有效的測(cè)量，其Z向分辨率可達(dá)到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺(tái)，能對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)大面積準(zhǔn)確輪廓測(cè)量。得到的輪廓模型更可與光學(xué)景深圖像融合，最終得到計(jì)量級(jí)的彩色3D模型。

技術(shù)參數(shù)