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 　　擴(kuò)散硅壓力變送器利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的傳感器。作為一種高性能的壓力測量產(chǎn)品，可以很方便地進(jìn)行放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出的設(shè)備，再配以高精密電子元件，經(jīng)嚴(yán)格要求的工藝過程裝配而成。具備高可靠性、長期穩(wěn)定性和易于維護(hù)的設(shè)計(jì)，可靠、耐用。