超純水系統(tǒng)主要采用全自動反滲透+電去離子（EDI）+拋光混床超純水處理技術(shù)，前置預(yù)處理加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質(zhì)，然后運(yùn)用CEDI及拋光混床系統(tǒng)，進(jìn)一步提升水質(zhì)，使出水達(dá)到用水工藝要求。

超純水系統(tǒng)水站部分施工難度大，其主要包括三個部分：設(shè)備的搬入及安裝、共用管架(簡稱共架，下同)的制作安裝以及管道的安裝。設(shè)備的搬入一定要注意編制詳細(xì)的設(shè)備吊裝方案，特別是對于超重、超大、易損設(shè)備，千萬不可以野蠻冒險(xiǎn)施工。

共架的施工要注意兩個環(huán)節(jié)：

1、共架與土建結(jié)構(gòu)連接處一定要堅(jiān)固，采用預(yù)埋鐵板。若因種種原因不能預(yù)埋，則應(yīng)用化學(xué)鉚栓固定在梁上，不應(yīng)使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上；

2、整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應(yīng)力不均勻引起管道彎曲破損。水站的管道施工除CDA、氮?dú)饧盁峤粨Q器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統(tǒng)進(jìn)行施工外，其他站內(nèi)管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和設(shè)備周邊配管施工。

超純水制水設(shè)備是一款設(shè)備。早期超純水的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工、造紙等行業(yè)，水質(zhì)要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點(diǎn)是化學(xué)藥劑再生，既麻煩又不經(jīng)濟(jì)，而且由于強(qiáng)行樹脂對一般有機(jī)分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展，對超純水質(zhì)量要求提高，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展，到了上個世紀(jì)末，膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)*的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換設(shè)備系統(tǒng)，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求取設(shè)備工藝。