電子工業(yè)中的VOCs種類常見的有30多種，主要來自半導(dǎo)體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機(jī)機(jī)殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機(jī)脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機(jī)溶劑，去光刻膠類化合物如陜西電子加工廢氣處理設(shè)備參數(shù)DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點的硫類和胺類之有機(jī)溶劑。

針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應(yīng)末端治理技術(shù)，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達(dá)到90%以上。陜西電子加工廢氣處理設(shè)備參數(shù)
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉(zhuǎn)輪，廢氣由旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進(jìn)入濃縮輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理，去除效率可在98%。
對于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機(jī)廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些氣體，治理技術(shù)一般采用組合方式，前端通過噴淋塔淋洗，后接沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法，對電子終端產(chǎn)品企業(yè)，多采用活性炭吸附，進(jìn)行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置(水簾或高密度纖維過濾)。