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5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門實(shí)際針對(duì)于熱蒸發(fā)或CSS（Close Spaced Sublimation）鍍膜實(shí)驗(yàn)，其鍍膜面積可達(dá)到5“x5“。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），Z大升溫速率為20?C/s 。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體	采用兩個(gè)溫度控制器，分別控制頂部和底部?jī)山M加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm
真空法蘭	真空法蘭為316不銹鋼制作頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，體內(nèi)真空度可達(dá)10^-2 torr.
加熱元件和載樣臺(tái)	由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺(tái)，以達(dá)到較好的加熱均勻性底部載樣臺(tái)上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（16L/m)
溫控系統(tǒng)	兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中控溫儀表操作視頻
工作溫度	高工作溫度為：800℃ 兩個(gè)加熱區(qū)之間的大溫差為300℃
加熱和冷卻速率	加熱速率> 8ºC/s（每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱）冷卻速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)
熱電偶	兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸
工作電壓	208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關(guān)）
功率	3000W
可選	實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵，可與本公司選購(gòu)真空泵采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購(gòu)無油泵也可選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
質(zhì)保	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管）