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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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6等離子清洗機(jī)--PDC-001

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產(chǎn)品型號(hào)PDC-001

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-05-04 09:25:11瀏覽次數(shù)：341次

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經(jīng)營(yíng)模式：

商鋪產(chǎn)品：1313條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：徐鰲 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機(jī)，其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對(duì)有機(jī)物和基片表面進(jìn)行清洗，同時(shí)可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實(shí)驗(yàn)需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對(duì)于在薄膜生長(zhǎng)前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。

詳細(xì)介紹

PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機(jī)，其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對(duì)有機(jī)物和基片表面進(jìn)行清洗，同時(shí)可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實(shí)驗(yàn)需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對(duì)于在薄膜生長(zhǎng)前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。

 

 技術(shù)參數(shù)

輸入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

輸出頻率

 13.56 MHz

功率

  • 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
  • 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
  • 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

等離子腔體 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體

真空泵和閥

  • 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
  • 泵上安裝有一個(gè)不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

通入的氣體 

腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實(shí)驗(yàn)需要 ，不可以通入可燃性氣體進(jìn)入等離子腔體中

可選配件

  • 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購(gòu)石英架，每個(gè)石英架上可以放25片
  • 數(shù)字式真空顯示計(jì)，可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度

可選真空計(jì)

 

  • 可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計(jì)
  • 此款真空計(jì)是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導(dǎo)特性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測(cè)量。
      

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

細(xì)節(jié)圖

 

 

 

質(zhì)保期

一年質(zhì)保  ( 不包括石英腔體和密封圈) 

質(zhì)量認(rèn)證

  CE Certified


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