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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):144次

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經(jīng)營(yíng)模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-50-1I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PECVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn):

與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對(duì)薄膜的損壞;

可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果;

爐體有兩個(gè)溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃;

帶有預(yù)熱爐,氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù):

連續(xù)工作溫度為1100℃

兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;兩個(gè)溫區(qū)溫差為:400℃

內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

工作電源:208-240V AC單相,功率:4KW

電動(dòng)滑軌:

可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端,將爐體滑動(dòng),以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果

滑動(dòng)速度:0-70 mm/s(可調(diào))

升降溫速率:
• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費(fèi)用在本公司購(gòu)買)

為獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設(shè)定溫度,然后將爐體滑到樣品放置區(qū)

image.png 

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

爐體尺寸:550mmL-380mmW-520mmH

滑軌長(zhǎng)度:1750mm

凈重:220Lbs

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件



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