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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)無
品 牌
廠商性質(zhì)0
所 在 地
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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：145次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線這款小型PECVD，其腔體為 3*dia 16“L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對(duì)樣品進(jìn)行加熱，此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機(jī)械泵。整套儀器都按放在一個(gè)移動(dòng)架上，以便于實(shí)驗(yàn)操作。等離子腔體內(nèi)部的溫度可以達(dá)到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價(jià)的PECVD系統(tǒng)對(duì)于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。
等離子源：
等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz,<100W
輸出頻率： 13.56 MHz
三檔射頻功率大?。?/span> 7.2W. 10.5W 和 18W （可調(diào)節(jié)）
腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr（用機(jī)械泵)
滑動(dòng)法蘭：
•有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上，以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達(dá)到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2" ID x 75mmL的石英罩，以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃
輸入電源： AC220V
兩通道混氣系統(tǒng)：
•混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì)，其量程為10-100SCCM
•三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸：340Lx300Dx 180H, mm （13.4"x12"x7")!
凈重: 14 1bs.
真空和氣體接口：
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有
•一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍
•一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air,以及各種混合性氣體。
•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量，確保等離子體達(dá)到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵：
•儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
進(jìn)氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動(dòng)架：
設(shè)備中配有— 600L x 600W x600H （mm)的移動(dòng)架，整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸：
•等離子源： 8.5"Hx10"Wx 8"D
•溫控盒： 4"Hx10"Wx 8"D
移動(dòng)架：600 x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
質(zhì)保期：
一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）
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