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　　沸石轉輪是將大風量、低濃度的廢氣濃縮到高濃度、小風量的廢氣，從而減少設備的投入費用和運行成本，提高VOCs廢氣的高效率處理?？煞譃樘幚韰^(qū)、再生區(qū)、冷卻區(qū)，在各個區(qū)內連續(xù)運轉。含有低濃度VOCs的廢氣通過蜂窩狀沸石時，VOCs成分被吸附在沸石中，凈化后的氣體排放到大氣中,或排放至室內進行循環(huán)處理，通過循環(huán)處理，回收熱能。此時,已吸附VOCs的蜂窩沸石連續(xù)旋轉，利用少量的加熱空氣在解吸附模塊進行解吸附再生，在此過程中，能夠從低濃度的廢氣中得到高濃縮氣體。

　　沸石轉輪裝置的特性：
       1.吸附濃縮好；沸石轉輪的轉速穩(wěn)定，可以使得通過設備的廢氣是地風量高濃度的，從而可以很好的濃縮廢氣。

　　2.安全穩(wěn)定；沸石轉輪吸附裝置的材質是采用了不易燃的防火材料，安全穩(wěn)定。

　　3.壽命長；沸石轉輪吸附濃縮裝置的使用壽命長，轉輪的轉速穩(wěn)定材質先進，可以滿足用戶的長久使用。

　　4.應用范圍廣泛；在各種廢氣處理的環(huán)境中，大風量、低濃度的廢氣都可以使用該設備對廢氣進行提高濃度的處理。

　　沸石轉輪之處理單元如下：
（1）機體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經燒結所做成，其中陶瓷纖維因具備耐高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不可燃及耐酸堿的特性而較受廣泛使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。

　　（2）基質為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉輪，再分為兩個區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及再生脫附區(qū)，但為提升轉輪之吸附能力，有時會設計于兩區(qū)之間多一個冷卻區(qū)，通常吸附區(qū)較大，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個較小且面積相等之處理區(qū)域。

　?。?）熱回收設備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達500-700℃，將此部分空氣經由熱交換器將熱能加以回收，同時將干凈空氣溫度降低后將其導至轉輪脫附區(qū)為轉輪進行脫附作用；若溫度太高則轉輪可能發(fā)生燃燒，因此進入轉輪之溫度不可太高，一般會設置兩段熱回收設備并增設一鼓風機導入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉輪焚化系統外，并可在制程端如光阻涂布機臺或去光阻制程廢氣出口端加裝冷凝器，預先分流處理高沸點VOCs。