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上海奕卿過(guò)濾科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 不銹鋼多袋式過(guò)濾器,大流量袋式過(guò)濾器,多層板框過(guò)濾機(jī) |
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精密過(guò)濾器及袋式過(guò)濾器在晶圓硅片研磨/切割廢水回用中的應(yīng)用
2017-11-8 閱讀(2917)
過(guò)程簡(jiǎn)述
制造半導(dǎo)體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片，晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長(zhǎng)、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序；研磨過(guò)程之后需采用大量的超純水來(lái)洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。
問(wèn)題描述
廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境
處理水不加以回收造成水資源浪費(fèi)
傳統(tǒng)處理方式有局限（占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定）
產(chǎn)品應(yīng)用
上層清液溢流至中間水箱，經(jīng)中間水泵將清水增壓后進(jìn)一步的過(guò)濾，經(jīng)過(guò)10微米的袋式過(guò)濾器、1微米的濾芯式過(guò)濾器、活性炭吸附裝置及終端0.2微米的精密過(guò)濾器，之后進(jìn)入末端水箱，經(jīng)末端送水泵將系統(tǒng)*處理的回用水送至超濾產(chǎn)水箱，可直接進(jìn)反滲透裝置以繼續(xù)生產(chǎn)超純水；上述過(guò)程亦可采用陶瓷膜微濾裝置對(duì)上清液作過(guò)濾濃縮處理。
