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上海奕卿過(guò)濾科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 不銹鋼多袋式過(guò)濾器,大流量袋式過(guò)濾器,多層板框過(guò)濾機(jī) |
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半導(dǎo)體制造廢水過(guò)濾應(yīng)用
2017-9-4 閱讀(1601)
過(guò)程簡(jiǎn)述
半導(dǎo)體集成電路是指在半導(dǎo)體基板上，利用氧化、蝕刻、擴(kuò)散等方法，將眾多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件作在一微小面積上，以完成某一特定邏輯功能（例如：AND、OR、NAND等）， 進(jìn)而達(dá)成預(yù)先設(shè)定好的電路功能。半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝要求高，涵蓋光刻、精密切割和研磨等各種復(fù)雜工藝，生產(chǎn)半導(dǎo)體的過(guò)程會(huì)產(chǎn)生大量的廢水， 半導(dǎo)體廢水污染物種類多，成分復(fù)雜，通常包括多種重金屬?gòu)U水，有機(jī)廢水以及硅和氟廢水；同時(shí)半導(dǎo)體PCW系統(tǒng)的制程冷卻水須過(guò)濾處理以回用（見水處理應(yīng)用）。
清洗工藝及廢水來(lái)源
工藝 | 清潔源 | 容器 | 清潔效果 |
剝離光刻膠 | 氧等離子體 | 平板反應(yīng)器 | 刻蝕膠 |
去聚合物 | 硫酸:水=6:1 | 溶液槽 | 除去有機(jī)物 |
去自然氧化層 | 氟化氫:水<1:50 | 溶液槽 | 產(chǎn)生無(wú)氧表面 |
旋轉(zhuǎn)甩干 | 氮?dú)?/span> | 甩干機(jī) | 無(wú)任殘留物 |
RCA1#(堿性) | 氫氧化銨:過(guò)氧化氫:水=1:1:1.5 | 溶液槽 | 除去表面顆粒 |
RCA2#(堿性) | 氯化氫:過(guò)氧化氫:水=1：1：5 | 溶液槽 | 除去重金屬粒子 |
DI清洗 | 去離子水 | 溶液槽 | 除去清洗溶劑 |
問(wèn)題描述
1.分產(chǎn)生廢水量大；
2.廢水成復(fù)雜，含有各種過(guò)渡性質(zhì)的金屬如硅、鍺等，同時(shí)含有較高含量的氟；
3.廢水中含有難以處理的較高濃度的 COD。
產(chǎn)品應(yīng)用
1.陶瓷膜過(guò)濾系統(tǒng)；
2.占地面積小，集中管理，智能控制；
3.產(chǎn)水質(zhì)量高，同時(shí)去除廢水中的磷酸鹽和COD；
4.耐化學(xué)酸堿性佳，壽命長(zhǎng)，維護(hù)簡(jiǎn)便；
5.簡(jiǎn)化傳統(tǒng)工藝，無(wú)需添加藥劑。
奕卿科技產(chǎn)品：
折疊濾芯過(guò)濾器、精密過(guò)濾器、袋式過(guò)濾器等
