蘇州活性炭吸附設(shè)備實惠物美常州天之尚環(huán)保有限公司專業(yè)從事皮革廢氣處理安裝,集研發(fā),設(shè)計與施工一體的環(huán)保公司,豐富的行業(yè)經(jīng)驗,專業(yè)技術(shù)團隊,免費方案設(shè)計!

( 1） 廢氣流量-( 2 ） 污染物濃度-( 3 ） 廢氣溫度 、濕度，揮發(fā)性有機廢氣：VOCso．一、有機廢氣的特點·大多數(shù)有機污染物是對人體健康有害·中毒的大多癥狀表現(xiàn)為 ：呼吸道疾病多為積票性·若有機污染物的濃度過高可能會造成急性中毒甚至死亡·有些有機物會引起皮膚病·有些具有致癌性·惡臭類物質(zhì)影響呼眼系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、消化系統(tǒng)和生殖系統(tǒng)1.較高濃度 ，成分單一或類似回收能產(chǎn) 生經(jīng)濟效益。
    2. 成分復雜無 回收價值。
    來表示該值，則大約為 0.4 % 。即，上述結(jié)果表示 ，裝置的設(shè)置面積增加 很多。
    （產(chǎn)業(yè)上的可利用性）本設(shè)備 的處理劑 ，并不限定于由半導體制造裝置排出 的廢氣，也使用5于含有同樣的有害氣體成分  的廢氣的凈化。
    廢氣處理劑、廢氣處理方法以及廢氣處理裝置5技術(shù)領(lǐng)域本設(shè)備涉及用于除去由半導體制造裝置等排出的廢氣中含有的氧化 物為固體的氫化物、氟化物、氯化物等鹵化物 （ 以下，將這些統(tǒng)稱為有害 氣體成分>  的廢氣處理劑以及使用該廢氣處理劑的處理方法及處理裝置 。
    10本申請，對于2004  年 1 月 29日申請的特愿 2004 一020976 號主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其內(nèi)容。
    背景技術(shù)在由半導體制造裝置排出的廢氣中，含有 CF4、C2F6、SiF4、SF6 等氟15化物氣體或者 BC13, AsCls 等氯化物等 鹵化物氣體或者 PH3 、Si、GeH4、 As町等金屬氫化物氣體 。
    由于這些的氟化物、氯化物等鹵化物以及金屬氫化物氣體是有害的，從而將廢氣向外部排出時，需要將這些有害氣體成分除去。因此，以往提 出了利用各種吸附劑，除去這樣的有害氣體成分的方法。
    20然而，在利用吸附劑的除去中，由于以吸附劑的表面部上的物理  、化 學吸附反應(yīng)為主 ，因此吸附劑單位量對應(yīng)的處理量少，需要大量的吸附劑。 此外，對處理后的吸附劑進行廢棄處理的情況下，也存在必須實施特別的 廢棄處理 ，以防止吸附的有害氣體成分脫離而發(fā)生再污染等不妥善情況 。 另一方面，也提出了利用反應(yīng)劑的除去的技術(shù)，但在反應(yīng)除去中，由于以25表面多原子層上 的反應(yīng)為主，因此反應(yīng)劑單位 量對應(yīng)的處理量少，需要大 量的反應(yīng)劑。
    為 了解決該 問題，在特開平 10-15349 號公報中，公開了 由煤、活性炭 等碳質(zhì)固體材料與鈣、銀等堿土族金屬化合物構(gòu)成的反應(yīng)劑。
    然而，在該反應(yīng)劑中，由于碳質(zhì)固體材料與堿土族金屬以大致相等量30來混合，因此，例如，即使堿土族金屬的反應(yīng)效率成為 90 % 左右，但反應(yīng)劑整體上的反應(yīng)效率不足 50 % ，其結(jié)果 ，存在所謂 的反應(yīng)劑的更換頻率增 加的問題。
    文獻：特開平 10一 15349 號公報5設(shè)備內(nèi)容本設(shè)備鑒于此 ，其 目的在于提供一種作為除去 由半導體制造裝置等排 出的廢氣中含有的有害氣體成分的廢氣處理劑，處理劑單位量對應(yīng)的處理 量多，能夠以少量的處理劑進行大量的廢氣處理 ，并且在對處理后的處理 劑進行廢棄處理時，也不需要實施特別的廢棄處理  的廢氣處理劑。
    10為 了達到相關(guān)目 的，本設(shè)備 的*方式是一種廢氣處理劑，呈粒狀， 且具備多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)，該廢氣處理劑的特征在于，包括 ：占據(jù)其表面的至少 一部分的氫氧化鈣 、以及 占據(jù)剩余部分的氧化鈣。
    在上述廢氣處理劑中，作為優(yōu)選，上述氫氧化鈣 占據(jù)上述廢氣處理劑 的 2070 重量% 。
    15上述廢氣處理劑，優(yōu)選具有 lm2/g以上的比表面積。
    上述廢氣處理劑，優(yōu)選具有 1050 體積% 的空隙率。 上述廢氣處理劑，也可以將粒狀的碳酸鈣燒成而得到 。 上述廢氣處理劑，也可以將成型為粒狀的氫氧化鈣而得到 。 上述廢氣處理劑，也可以將氧化鈣通過水合反應(yīng)  ，轉(zhuǎn)換成氫氧化鈣之20后，對該氫氧化鈣進行燒成而得到 。
    本設(shè)備的第二方式是 ，一種廢氣處理方法 ，其特征在于 ，使廢氣以氣 態(tài)與上述*方式的廢氣處理劑接觸 ，上述廢氣含有屬于元素 周期表的 Illb  族、IVb族 、或者 Vb 族的元素的氫化物及／或鹵化物。
    本設(shè)備的第三方式是一種廢氣處理裝置 ，其特征在于，具備填充有上25述*方式的廢氣處理劑而成的反應(yīng)除去部 。
    優(yōu)選在上述廢氣處理裝置中 ，以 30 70 體積%的空隙率填充有所述 廢氣處理劑。

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