(1)結構簡單，傳感器無活動電觸點，因此工作可靠壽命長。
(2)靈敏度和分辨力高，能測出0.01微米的位移變化。傳感器的輸出信號強，電壓靈敏度一般每毫米的位移可達數(shù)百毫伏的輸出。
(3)線性度和重復性都比較好，在一定位移范圍(幾十微米至數(shù)毫米)內，傳感器非線性誤差可達0.05%~0.1%。同時，這種傳感器能實現(xiàn)信息的遠距離傳輸、記錄、顯示和控制，它在工業(yè)自動控制系統(tǒng)中廣泛被采用。但不足的是，它有頻率響應較低，不宜快速動態(tài)測控等缺點。
電感式傳感器種類很多，常見的有自感式，互感式和渦流式三種
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