工業(yè)VOCs治理設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器。本工藝在電催化總的設(shè)計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。
低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。
工業(yè)VOCs治理設(shè)備工作原理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
1. 電場+電子→高能電子
2. 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
3. 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
4.活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項具有強潛在優(yōu)勢的*，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學科界的高度關(guān)注。
工業(yè)VOCs治理設(shè)備是一種新型的干法處理有機廢氣的凈化設(shè)備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術(shù)，無需再生處理原料，無需專人負責，無產(chǎn)生二次污染，更換及維護保養(yǎng)方便，運行成本低廉，是有機廢氣治理較*的一項技術(shù)。
