來了解MKS真空計925系列性能參數(shù)
MKS 925系列真空計（MlcroPirani傳感器）
925系列MlcroPirani（微皮拉尼）傳感器是一個*的、基于MEMS的傳感器，它是一種熱導測量計。925 MlcroPirani常用于半導體設備及其它分析儀器中的真空壓力測量。MlcroPirani傳感器設計十分小型緊湊。其壓力測量范圍從常壓至10-5Torr，比標準Pirani壓力計低兩個數(shù)量級。925具有數(shù)字或模擬通訊接口，925有三個設置點。
925系列真空計主要參數(shù)：
測量范圍：1.0*10-5Torr至大氣壓
設定范圍：5.0*10-4 Torr至500Torr
精度：5*10-4 至10-3Torr ±10%讀數(shù),10-3至100Torr ±5%讀數(shù),100Torr至大氣壓 ±25%讀數(shù)
重復性：10-3至100 Torr ± 2%
電源要求：9 to 30 VDC,<1.5W
美國MKS 925系列真空計訂購資料（訂貨號如925-11030）：
型號 | 訂購序號 |
925 MlcroPirani | 925- |
接口類型 | |
KF16 | 1 |
KF25 | 2 |
1/8NPT | 3 |
VCR4 | 4 |
VCR8 | 5 |
CF1.33 | 6 |
KF16擴展 | 8 |
通訊接口 | |
RS232/模擬 | 1 |
RS485/模擬 | 2 |
模擬輸出 | |
MKS標準 | 0 |
MKS定制有*測范圍 | 8 |
連接頭和繼電器 | |
15針D-sub母頭/1個接觸點/925C兼容 | 1 |
15針D-sub母頭/無接觸點 | 2 |
15針D-sub母頭/3個接觸點 | 3 |
15針D-sub母頭/3個接觸點/雙模擬輸出 | 5 |
密封 | |
標準/Viton密封 | 0 |
標準/UHV密封 | 1 |
標準/Viton密封/帶顯示 | 4 |
