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東莞市卓為空調(diào)機(jī)電設(shè)備有限公司


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東莞卓為凈化半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間技術(shù)

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更新時(shí)間：2018-05-15 15:02:56瀏覽次數(shù)：131次

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東莞市卓為空調(diào)機(jī)電設(shè)有限公司一直堅(jiān)持以打造人與環(huán)境和諧共生，可持續(xù)發(fā)展的優(yōu)良無(wú)塵車(chē)間工程為目標(biāo)，從凈化項(xiàng)目的設(shè)計(jì)到項(xiàng)目施工，都秉持著盡善盡美，精益求精，使項(xiàng)目在符合客戶的要求上，更在降低項(xiàng)目后期使用成本，提高使用效率上追求更加科學(xué)化、完善化，以期為客戶帶來(lái)大的效益，為我們美麗的自然環(huán)境而降低能耗。

半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這就是半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的來(lái)由。

以下半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法：

1.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入無(wú)塵車(chē)間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。

3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在無(wú)塵車(chē)間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至較低程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人或事物進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是更佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人！

7.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?nbsp;(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。

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