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InstruTech真空控制器

InstruTech公司位于美國的科羅拉多州，是致力于真空測量和控制儀器的設(shè)計、制造和服務(wù)的專業(yè)公司。InstruTech公司的真空計采用的真空技術(shù)設(shè)計，可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的測量范圍。InstruTech公司的真空計和真空控制器系列產(chǎn)品包括：增強型皮拉尼真空計，熱陰極電離真空計（hot cathode Bayard-Alpert）和冷陰極雙控磁電離真空計。InstruTech公司的理念是提供多功能，*可靠性的高性價比真空計。因此，InstruTech所提供的真空計及真空控制器極大程度上節(jié)約了成本，從而提高產(chǎn)品的性價比。InstruTech真空計主要用于：半導體制備、薄膜沉積、數(shù)據(jù)存儲設(shè)備制造、政府和學術(shù)研究機構(gòu)、分析化學、真空加工、工業(yè)中。

產(chǎn)品范圍：InstruTech真空控制器

美國InstruTech真空計、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech電離真空計、InstruTech增強型對流真空計

主要型號：InstruTech真空控制器

IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301

B-RAX™ 3000系列：B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200

美國InstruTech CCM501冷陰極雙反磁控管電離真空計簡介：

產(chǎn)品特點：

寬泛的測量范圍：1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr

內(nèi)置控制器及OLED數(shù)字顯示

用戶可根據(jù)需求對單位（Torr，mbar，Pa ）進行變換

雙反磁控管技術(shù)提供增強的敏感性

傳感器可輕松拆卸清洗

改進傳感器信噪比為整個測量范圍提供了穩(wěn)定性

配置3個對數(shù)線性模擬輸出，3個設(shè)定點繼電器和標準RS485串行接口

可選擇多種尺寸的配件—NW16KF，NW25KF，NW40KF，1 1/3 in. Mini- Conflat®，和2 3/4 in. Conflat®

技術(shù)參數(shù)：

測量范圍	1×10-8～1×10-2Torr 1.3×10-8～1.3×10-2mbar 1.3×10-6～1.3Pa
精確度（N2）	+30%
重復測量誤差	+5%
顯示	明亮黃色OLED顯示，2位數(shù)字+1位指數(shù)，可變換單位
過壓保護	廠家默認設(shè)定在5 x 10-10 Torr儀器關(guān)閉
內(nèi)部容積	1.965 in3（32.2 cm3）
溫度	工作溫度：0~40℃ 存儲環(huán)境溫度：-40~70℃
烘烤溫度	150℃（僅限于表，電子元件不可）
濕度	0~95% RH，非冷凝
重量	配置NW25KF法蘭：1.7 Ib.（0.77kg）
串行通信接口	標準 RS485，zui小指令間隔：50 ms
燈絲控制	選擇1個還是2個燈絲工作，通過操作顯示屏按鈕調(diào)節(jié)，或者通過RS485串行通訊
輸入功率	20-28VDC，7.2W（max）

美國InstruTech BA603電離真空計簡介：

產(chǎn)品特點：

電阻熱及電子轟擊兩種除氣方式

寬泛的量程：4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr

堅固的雙螺旋鎢網(wǎng)格

可選擇多種法蘭接口：3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®

技術(shù)參數(shù)：

測量范圍	4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr 5.3 x 10-10to 1.3 x 10-3 mbar 5.3 x 10-8 to 1.3 x 10-1 Pa
精確度	+20% of reading
X射線極限	24x 10-11 Torr
除氣-電子轟擊	100W（max）
除氣-電阻熱	6.3-7.5 VAC，10A
燈絲電流	4.0-6.0 A
燈絲電壓	3.0-5.0 V
燈絲電位	+30 VDC
柵極電位	+180 VDC
收集極電位	0V
烘烤溫度	450℃
收集極	鎢絲，直徑0.010 in.
燈絲	單根/雙根鍍銥（或鎢）氧化釔
柵格	堅固的雙螺旋鎢制 0.025 in.
絕緣元件	陶瓷
長度	全長 6.0 in.
可選法蘭	3/4 in. diameter Kovar 1 in. diameter Kovar NW25KF, NW40KF 1 1/3 in. Mini-Conflat® 2 3/4 in. Conflat®

美國InstruTech VCG301 真空控制器產(chǎn)品特點：

寬泛的測量范圍

可控制CVG101真空傳感器

使用更省空間的1/8 針面板

可任意更換單位（Torr/mTorr, bar/mbar, Pa）

1個模擬輸出，2個設(shè)定點繼電器，RS232/RS485串行通訊接口

可以與GP Convectron真空傳感器配合使用

VCG301 真空控制器技術(shù)參數(shù)：

測量范圍	1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr 1.3 x 10-4 ~ 1333 mbar 1.3 x 10-2 ~ 133 kPa
顯示	OLED,4位數(shù)字（ 4 位數(shù)字從 100mTorr 到 1100Torr ； 3 位數(shù)字從 10.0 到 100mTorr ； 2 位數(shù)字從 1.0 到 10mTorr ）
顯示更新率	0.5秒
重量	9 OZ.（250g）
工作溫度	0-40℃
工作濕度	0-95%，非冷凝
電子連接器	真空傳感器： 9- 針 D 型內(nèi)螺紋模擬輸出和數(shù)字串口： 9- 針 D 型外螺紋繼電器輸出： 6- 針接線盒電源：通用的交流和 2- 針直流接線盒
輸入功率	12-30VDC，2W（max）