美國Paroscientific數(shù)字式石英壓力傳感器原理

美國Paroscientific公司推出了精度更高（0.01%），穩(wěn)定性更好（優(yōu)于0.01%/年）的數(shù)字式石英壓力傳感器。這是一種在同一石英晶體上制作一石英諧振壓力傳感器和一石英諧振溫度傳感器，采用石英溫度傳感器的輸出對壓力信號進行補償，使傳感器能在-54～107℃的寬廣溫度范圍內無須預熱即可使用。它還在結構上采取測壓氣體與壓力敏感元件*分離的措施，可使傳感器不受測壓氣體種類和濕度的影響；傳感器內部還包含有必要的砝碼自平衡和沖擊保護裝置，可使傳感器工作在高加速度、沖擊和振動負荷下。因此在太空飛船、實驗室、氣球大氣探測和衛(wèi)星等領域得到了廣泛的應用。

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