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四方光電(武漢)儀器有限公司
初級(jí)會(huì)員 | 第7年

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四方儀器紅外氣體傳感器,精準(zhǔn)測(cè)量,助力CVD腔室的EPD檢測(cè)
  • 發(fā)布時(shí)間2025-05-23
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四方儀器始終專注于氣體分析儀領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)與創(chuàng)新,針對(duì)薄膜沉積設(shè)備清潔終點(diǎn)檢測(cè)需求,推出SiF4紅外氣體傳感器。其基于公司自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的雙光束紅外(NDIR)技術(shù),精確測(cè)量半導(dǎo)體應(yīng)?中微量特種?體的紅外光譜吸收,其零點(diǎn)漂移低、重復(fù)性好,確保每次清洗終點(diǎn)一致。測(cè)量穩(wěn)定性高(準(zhǔn)確度≤±1.0% F.S.),響應(yīng)速度快(響應(yīng)時(shí)間T90≤2秒),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體濃度變化;原位設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,采用耐腐蝕材料,便于集成與維護(hù);支持模擬/數(shù)字通信,靈活適配各類系統(tǒng)。實(shí)際測(cè)試中,其成功實(shí)現(xiàn)清潔終點(diǎn)的精準(zhǔn)控制,助力CVD設(shè)備技術(shù)升級(jí)。

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