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行業(yè)產(chǎn)品

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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司


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真空探針臺真空設(shè)備集成

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參   考   價: 268000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號W-TZ4

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:于磊查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-05-29 19:02:43瀏覽次數(shù):434次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:71條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:于磊 (銷售部經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
材質(zhì) 不銹鋼 規(guī)格型號 W-TZ4
加工定制 適用范圍 5Pa
外形尺寸 1500*1500mm 用途 晶圓測量
重量 150kg    

真空探針臺真空設(shè)備集成
高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

詳細介紹

真空探針臺真空設(shè)備集成

高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

  極低溫測試:

  因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

  高溫?zé)o氧化測試:

  當(dāng)晶圓加熱至300,400,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時調(diào)整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

真空探針臺真空設(shè)備集成


1、探針平臺:

  探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu),通過探針臂與探針實現(xiàn)同步、線性位移;探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點,三維調(diào)節(jié)范圍為X、Y、Z±20mm,驅(qū)動方式為手動測微頭,驅(qū)動位置為V型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定,采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高,配合做大手輪,最小刻度0.01mm,精度0.001mm,直線度單軸0.002mm,重復(fù)定位精度±2微米,單軸直線度±2微米,固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg,負載5Kg

  探針夾具采用同軸探針夾具,接BNC公接頭。阻抗,50歐姆;接頭,Coaxial BNC公口;最小漏電流,10pA;線徑,30AWG;電壓,700V??紤]到在做晶圓測試時是在高溫下測量,所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接,這樣既可以耐高溫,也可以減少放氣量,有利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性!

  探針臂采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼光軸,可以有效保證探針的水平準(zhǔn)直度和變溫環(huán)境下的剛性,減少形變造成的不良影響。探針臂移動真空密封裝置,采用壓縮比達到1:6.5的焊接波紋管,壓縮壽命優(yōu)于10萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造成的負擔(dān)。

  2、光學(xué)平臺

  隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù),隔振性能良好。自動水平,自動充氣,全部氣動執(zhí)行元件采用德國FEST0產(chǎn)品,空氣壓縮機氣源、噪聲低。

  應(yīng)用范圍:適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

  臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu),采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

  平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

  平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2

  固有頻率1.5 ~2 Hz

  振幅小于1 um

  重復(fù)定位精度±0.10 mm

  工作壓力0.2~0.6(Mpa)

  3、顯微鏡

  1、鑒別力高,視場范圍大,景深長。

  2、工作距離長至115mm。

  3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負5度,能滿足不同視力的操作者觀察。

  4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩,滿足不同操作者的使用習(xí)慣,更可以鎖定手輪,方便定倍觀察。

  5、本顯微鏡為連續(xù)變倍,變倍比為6.31 ,物鏡變倍范圍0.8X-5X。

  6、雙目觀察傾斜45度,雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm。

  7、三目體式顯微鏡,可安裝CCD成像系統(tǒng)。

  8、倍率可達200X。

  產(chǎn)品優(yōu)點:

  產(chǎn)品造型比較新穎

  機械特性,操作舒適度高。

  光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達300線對以上,符合國際標(biāo)準(zhǔn)

  超長的工作距離位于國內(nèi)同行設(shè)計

  創(chuàng)見性人機學(xué)設(shè)計,產(chǎn)品細節(jié)考慮全面。

  配CCD采用USB連接電腦,分辨率≦2微米,像素≧500

  特性:

  密封性-------防塵,防油\防水污染,此種接口密封性設(shè)計能安全防塵\防油\防水或其它污染,這就減少了常規(guī)的維護,從而降低了總的費用.

  防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境,此的設(shè)計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙

  防靜電------防靜電設(shè)計可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本

  4、高低溫控制系統(tǒng)

  控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán)PID控溫和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,控溫精準(zhǔn)可達到±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3;加熱器220V供電,溫度600℃,液氮制冷,溫度可達到-130℃。

  5、充氣系統(tǒng)

  充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計及控制顯示器3路,采用日本原裝品牌,提供原產(chǎn)地證明,精度1%FS,響應(yīng)時間優(yōu)于1sec;

    測量氣體:待定 ,量程:待定 ,數(shù)量:3路 ,連接尺寸:F6雙卡套。

  真空截止閥3個,連接尺寸:F6雙卡套。

  F52mm*L200mm混氣罐1個,接頭4個,連接尺寸:F6雙卡套。

  連接管路采用F6無縫316材質(zhì)不銹鋼管。

  6、真空系統(tǒng)

  真空獲得設(shè)備:抽真空機械泵采用中韓合資型號TRP-36,9L/s抽速,自帶防返油閥門,KF25接口,KF25排氣口,配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于10Pa。

  真空連接管道:配置KF40手動真空擋板閥,波紋管密封,性能可靠,外觀大氣,手感好;放氣閥配置KF16手動放氣閥,體積小巧,性能可靠;所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管,具備很好的柔韌度,消除機械泵震動所帶給探針臺的影響。

  真空測量:真空測量采用全金屬KF16電阻規(guī),配合真空計實時顯示從大氣壓到0.1Pa的真空度,外形美觀,日后維護成本低。

  7、備品配件

  贈送全套密封件1套,探針10只,探針臂陶瓷連接件2個。





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