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北京維意真空技術應用有限責任公司
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產品型號W-JH200
品 牌其他品牌
廠商性質生產商
所 在 地北京市
聯系方式：于磊查看聯系方式
更新時間：2025-05-30 10:56:32瀏覽次數：689次
聯系我時，請告知來自 環(huán)保在線| 材質 | 不銹鋼 | 規(guī)格型號 | W-JH200 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 是 | 適用范圍 | 1Pa |
| 外形尺寸 | 直徑350mm | 用途 | 晶圓鍵合 |
| 重量 | 150kg |
真空鍵合機真空設備集成
設備由加壓力系統(tǒng)，壓力控制系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，電氣控制系統(tǒng)
晶圓Bonding機技術方案
真空鍵合機真空設備集成
一、設備組成概述
設備由加壓力系統(tǒng)，壓力控制系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，電氣控制系統(tǒng)，
二、設備技術要求
1、設備極限真空度≤1Pa；
2、鍵合平臺尺寸≥200mm×200mm(長×寬)；平臺平行度：0.05mm；
3、可鍵合晶圓厚度，0~140mm；
可鍵合芯片尺寸≥150mm×150mm(長×寬)
4、壓力范圍：0~3.5KN；鍵合壓力在量程內也任意可編程設置與控制；
? 壓力顯示精度：±0.1KN
5、真空系統(tǒng)1套
真空腔、真空機械油泵，手動角閥，真空計，微正壓泄壓閥，進氣口、進氣閥、及進氣浮子流量計。
6、控溫范圍室溫~300℃；上下板溫差：3℃；
溫度可以靈活設置和編程，溫控精度：±1%（100℃以下±1℃）；
均勻升溫速率：4℃/min（100℃以下）；3℃/min（100℃~200℃）；2℃/min（200℃以上）；快速升溫速率：10℃/min；支持溫度編程段數：10 段控溫；
上下壓盤部分采用高溫合金制造，上下壓盤同時加熱控溫，能在600度高溫下加壓不變形，保證加壓基板的平整度。
7、電氣控制系統(tǒng)1套。
8、電源功率要求:220V,3.5KW
真空鍵合機真空設備集成
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