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行業(yè)產(chǎn)品

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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司


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等離子體增強化學(xué)氣象沉積設(shè)備

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產(chǎn)品型號PECVD

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:于磊查看聯(lián)系方式

更新時間:2017-10-17 08:13:36瀏覽次數(shù):640次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:71條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:于磊 (銷售部經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。主要適應(yīng)于現(xiàn)代半

詳細介紹

 

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。主要適應(yīng)于現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)。

  • 輝光放電:在系統(tǒng)低于100Pa啟動射頻電源可以實現(xiàn)輝光放電。
  • 加熱:系統(tǒng)可以設(shè)置30段溫控程序,彩屏系統(tǒng)預(yù)存15條燒培曲線,針對不同的樣品,設(shè)置不同的預(yù)設(shè)曲線,避免重復(fù)設(shè)置。
  • 自動清洗功能:樣品放入線圈的區(qū)域,配置好參數(shù),系統(tǒng)會自動抽真空,并通入設(shè)置的氣體,自動啟動輝光放點。
  • 自動cvd功能:樣品放入線圈的區(qū)域,配置好參數(shù),系統(tǒng)會自動抽真空,并通入設(shè)置的氣體,自動啟動輝光放點。
  • 智能能模式:實現(xiàn)自動清洗和cvd功能,樣品不需移出,清洗cvd功能一鍵完成,并能實現(xiàn)多次的循環(huán)操作。
  • 通氣時間可以設(shè)定:通過界面設(shè)置通氣時間,時間到后,系統(tǒng)自動停止流量計,達到節(jié)能環(huán)保的目的。
  • 恒定真空控制:系統(tǒng)設(shè)置一個真空度的數(shù)值配合手動閥和真空泵,系統(tǒng)能實現(xiàn)真空的恒定。
  • 系統(tǒng)微正壓控制:系統(tǒng)設(shè)置一個正壓值,并配置好相應(yīng)的氣路,配合手動放氣閥,可以實現(xiàn)系統(tǒng)微正壓的恒定;
  • 系統(tǒng)正壓保護功能:當因為誤操作或者其他原因,系統(tǒng)壓力超過保護值時,系統(tǒng)會自動關(guān)閉進氣,保護設(shè)備
  • 加熱爐膛移動的速度可以調(diào)節(jié)。

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