一般的真空蒸發(fā)設(shè)備,在正常狀態(tài)下能達(dá)到3×10-3帕。時(shí)間抽長(zhǎng)點(diǎn),鐘翠內(nèi)部等支架比較干凈時(shí),能抽到7×10-4帕左右。如果系統(tǒng)長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)入不了10-3帕,說明高真空部分有毛病。雅之雷德生產(chǎn)上遇到的原因有以下兩種:
a.上旁通閥門密封圈松或損壞
蒸發(fā)設(shè)備幾個(gè)閥門中,此閥的故障率是zui多的。這不是因?yàn)樗拈_閉次數(shù)。主要原因是抽大氣時(shí),大量氣體先經(jīng)過它,故鐘罩中蒸發(fā)時(shí)殘留下的微粒,如金屬、介質(zhì)皮屑常被氣流吸卷著穿過此閥.其中一部分會(huì)粘到蝶閥的橡皮密封面處(通常裝閥時(shí)在密封面處涂上一層真空脂,故更易粘附)造成閥門關(guān)閉不嚴(yán)。從而使高壓強(qiáng)一端(低真空管路中)的氣流通過此閥漏入高真空區(qū),造成高真空抽不上。判斷此閥故障比較簡(jiǎn)單,轉(zhuǎn)動(dòng)閥門手柄。如閥門關(guān)不到原位或到位很松(正常狀態(tài)時(shí)閥門快關(guān)到位時(shí)有鎖緊的手感),估計(jì)毛病在此。進(jìn)一步證實(shí),可以用鐘罩放氣來驗(yàn)證,方法是把主閥和上下旁通閥都關(guān)閉,鐘罩放大氣,好凱德進(jìn)口真空泵如有抽大氣的響聲即可證明。
修復(fù)的方法是拆下閥門,發(fā)現(xiàn)壞損的密封圈就要更換。如沒損壞只是碎屑粘上,可用綢布蘸上酒精擦掉。對(duì)松的密封圈可在閥蓋和閥桿中間墊金屬片(約0.2毫米~0.6毫米),具體墊多厚為宜,全憑搬動(dòng)手柄人手的感覺,松緊要適中。
b.擴(kuò)散泵中的問題
通常好凱德進(jìn)口真空泵抽到1。帕,加熱擴(kuò)散泵一小時(shí)左右,真空度就能進(jìn)入4×10-3帕。若*停在10-2帕,說明擴(kuò)散泵以上部位有問題。是擴(kuò)散泵本身問題,還是鐘罩上部的問題,可以關(guān)閉主閥判斷。方法是關(guān)閉主閥,記錄壓強(qiáng)隨時(shí)間的變化數(shù)值,劃出曲線。通過曲線判斷是系統(tǒng)有漏氣還是擴(kuò)散泵的問題。
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