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螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國(guó)內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

其工作原理：
　　螺桿真空泵的工作過程可分為三個(gè)過程：吸氣，壓縮和排氣。 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，彼此嚙合的每一對(duì)齒又一次完成相同的工作循環(huán)。 現(xiàn)在，一對(duì)牙齒用于說明。
　　吸入過程
　　陽轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，而內(nèi)螺紋順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。 圖中轉(zhuǎn)子的上端是吸氣段，下端是排氣端。
　　壓縮過程
　　端面是排氣端面。 在此，陽轉(zhuǎn)子順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。 圖中轉(zhuǎn)子的上端是吸氣段，下端是排氣端。
　　排氣過程
　　在螺桿泵的排氣過程中，在齒之間的容積連接到排氣口之后開始排氣過程。 隨著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣口排出。