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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


當(dāng)前位置：鄭州科佳電爐有限公司>>化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)>>等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)>>帶預(yù)熱系統(tǒng)滑動(dòng)式PECVD設(shè)備

帶預(yù)熱系統(tǒng)滑動(dòng)式PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S06LC-YR

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間：2025-05-12 11:34:22瀏覽次數(shù)：112次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：該設(shè)備是一款帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
    該設(shè)備是一款帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，預(yù)熱爐，滑動(dòng)式管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和旋片泵組成?？捎糜谏L(zhǎng)納米或CVD方法來(lái)制作各種薄膜。
 
產(chǎn)品用途：
    PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。是應(yīng)用于生長(zhǎng)納米線或用CVD方法來(lái)制作各種薄膜的一款新的探索工具。


技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱 帶預(yù)熱系統(tǒng)滑動(dòng)式PECVD設(shè)備
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-S06LC-YR
爐管尺寸 60*長(zhǎng)度1600mm
可選其他直徑Φ50，80，100，120，150mm
爐管材質(zhì) 石英管
加熱區(qū) 雙溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度200mm
工作溫度 1100℃
溫度 1200℃
溫控方式 K型熱電偶
控制方式 觸屏控制
控溫精度 ±1℃
溫控保護(hù) 具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率 0-20ºC/min可調(diào)  ，建議10ºC/min
加熱元件 含鉬電阻絲
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率 3KW
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
爐體結(jié)構(gòu) 爐體帶滑軌，可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫
法蘭接頭 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。
預(yù)熱爐
主要參數(shù) 溫度1100度 ，多段程序控溫，可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù) 采用機(jī)械，可實(shí)現(xiàn)爐管內(nèi)的真空
氣路系統(tǒng)部分
名稱 四路質(zhì)量流量計(jì)（量程可選）
等離子電源部分
功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)）
售后服務(wù) 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍）
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制

 

 

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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