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科研型擴(kuò)散氧化爐

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產(chǎn)品型號KJ-T1300-LZ-10KS

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所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 11:25:44瀏覽次數(shù)：34次

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  化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

石墨烯、納米管生長爐

高真空CVD系統(tǒng)

等離子增強CVD系統(tǒng)(PECVD)

低真空CVD系統(tǒng)

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：208條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：王倩（銷售）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點：1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點：
1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3、具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；
4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5、具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
6、恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度；
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護(hù)功能；
8、可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。

應(yīng)用范圍：
本設(shè)備為科研型擴(kuò)散氧化爐，適用于企業(yè)研發(fā)、大學(xué)及科研院所的科研與教學(xué)。可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	科研型擴(kuò)散氧化爐
產(chǎn)品型號	KJ-T1300-LZ-10KS
工作溫度	1300℃
應(yīng)用晶片尺寸	2~8英寸圓片
可配工藝管數(shù)量	1~2管/臺
恒溫區(qū)長度	300~600mm
恒溫區(qū)精度	≤±0.5℃
溫度穩(wěn)定性	≤±0.5℃/24h
溫度斜變能力	升溫速率10℃/min，降溫速率5℃/min
預(yù)警	具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護(hù)功能
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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