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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


1600 CVD 系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1600 CVD

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間:2025-05-12 11:09:59瀏覽次數(shù):70次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:KJ-CVD是一種分體式管式爐,配備60mm直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:
    KJ-CVD 是一種分體式管式爐,配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 可混合1-6種氣體進(jìn)行CVD。
 
應(yīng)用范圍:
    此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 1600 CVD 系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1600 CVD
部分:標(biāo)準(zhǔn)部分
管式爐 顯示 LED
爐體 分體式和上部可以打開
溫度 1600℃ 
工作溫度 ≤1500℃
升溫速率  0~10℃/min
溫區(qū) 300mm
加熱元件 MoSi2加熱元件
熱電偶 B 型
溫度控制精度 ±1℃
爐管 80 x 1000mm (OD x minimum L)
材質(zhì):高純氧化鋁管
溫度控制 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
電壓與功率 220V, 50 Hz, 單相 4KW
真空泵系統(tǒng) 旋片真空泵+擴(kuò)散真空泵 真空泵組:極限真空10-6 Torr。
旋片真空泵和擴(kuò)散真空泵將設(shè)計(jì)成推車帶輪子。
質(zhì)量流量計(jì) 四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì):
底殼安裝1個(gè)氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝6個(gè)不銹鋼針閥,手動(dòng)控制6種氣體混合

 

 

 

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