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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-PE

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間：2025-05-12 11:07:09瀏覽次數(shù)：84次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
    該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱 PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-PE
外殼 不銹鋼
內(nèi)襯 兩層氧化鋁纖維
加熱元件 電阻絲
電源供應(yīng) AC 208-240V，單相，50/60 Hz
溫度 1200°C (2 hour)
工作溫度 1100 °C
溫度均勻 ±1°C
加熱和冷卻速率 ≤15 °C/S
爐管尺寸 Φ200×1400mm
管材 優(yōu)質(zhì)石英管
加熱區(qū)大小 Φ250×300mm
恒定溫度， 區(qū)域長(zhǎng)度 180mm
密封 法蘭
功率 8KW
溫度控制 30 個(gè)可編程段，用于精確控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。
內(nèi)置 PID 自動(dòng)調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護(hù)。
過溫保護(hù)和警報(bào)允許在沒有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。
+/- 1 ºC 溫度精度。
準(zhǔn)確 ±1°C
總重量 100Kg

 

 

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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關(guān)鍵詞：熱電偶

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