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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


PECVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號KJ-T1200-PE

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式:王倩查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-05-12 11:07:09瀏覽次數(shù):82次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成,適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時可實現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:
    該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成,適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時可實現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

產(chǎn)品參數(shù):

產(chǎn)品名稱 PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號 KJ-T1200-PE
外殼 不銹鋼
內(nèi)襯 兩層氧化鋁纖維
加熱元件 電阻絲
電源供應 AC 208-240V,單相,50/60 Hz
溫度 1200°C (2 hour)
工作溫度 1100 °C
溫度均勻 ±1°C
加熱和冷卻速率 ≤15 °C/S
爐管尺寸 Φ200×1400mm
管材 優(yōu)質石英管
加熱區(qū)大小 Φ250×300mm
恒定溫度, 區(qū)域長度 180mm
密封 法蘭
功率 8KW
溫度控制 30 個可編程段,用于精確控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。
內(nèi)置 PID 自動調諧功能,具有過熱和熱電偶斷路保護。
過溫保護和警報允許在沒有服務人員的情況下進行操作。
+/- 1 ºC 溫度精度。
準確 ±1°C
總重量 100Kg

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質量認證。

 

 

關鍵詞:熱電偶

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