產(chǎn)品介紹：該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
結(jié)構(gòu)組成：
定制流化床CVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。

應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	流化床CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-CVD-DZ
立式管式爐
爐膛模式	立式開(kāi)啟式
爐膛材料	進(jìn)口氧化鋁耐火纖維
加熱元件	優(yōu)質(zhì)硅碳棒
極限溫度	1400℃
工作溫度	≤1300℃
升溫速率	≤20℃(建議:15℃/min)
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)、多溫區(qū)
溫區(qū)總長(zhǎng)度	200、300、440
爐管材質(zhì)	高純石英管、剛玉管
爐管直徑	40、50、60、80、100mm......
密封方式	304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
控制模式	多段智能PID程序控溫預(yù)留通訊接口
控溫精度	±1℃
溫度曲線	多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
測(cè)溫元件	K型熱電偶
氣路系統(tǒng)
工作電壓	220V/50HZ
輸出功率	18W
工作溫度	5--45℃
氣體通道	可同時(shí)連接多種氣源
流量計(jì)	質(zhì)量流量計(jì)
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
.....	.....
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管	1/4不銹鋼管
數(shù)顯真空計(jì)及連接件
數(shù)顯真空計(jì)	數(shù)顯真空計(jì)安裝在不銹鋼法蘭上
真空泵組(相關(guān)連接配件)
真空泵	真空泵,及相應(yīng)連接管件 220V/50HZ
認(rèn)證	、CE認(rèn)證
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）

1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

關(guān)鍵詞：壓力表真空泵絕緣材料熱電偶質(zhì)量流量計(jì)

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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流化床CVD系統(tǒng)

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