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行業(yè)產(chǎn)品

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鉑悅儀器（上海）有限公司 廣州辦事處


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電學(xué)特性

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：市場部查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-05-12 12:14:03瀏覽次數(shù)：50次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：148條

所在地區(qū)：上海上海

聯(lián)系人：市場部 （市場）

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：

詳細介紹

電學(xué)特性

FEOL Electrical Characterization
In IC device manufacturing electrical characteristics of layers and films must be well controlled. Conventional contact test methods on monitor wafers, like the 4-point probe FSM offers, do no longer meet modern requirements. State of the art IC feature extremely thin, often only a few atomic layers of material. FSM's contactless RsL probe for sheet resistance and leakage as well as the non-destructive EOT probe for IC-CV measurements meet the challenge to characterize ultra shallow junctions and thin dielectric materials on production wafers.

FSM offers contact and non-contact electrical characterization metrology used in FEOL device making.

 

 

3DIC TSV and BWS TTV硅片表面形貌測量
Film Stress薄膜應(yīng)力量測儀
FEOL Electrical Characterization 電學(xué)特性
Thin wafer metrology 晶圓測量學(xué)
Film Adhesion漆膜附著力測試

FSM offers contact and non-contact electrical characterization metrology used in FEOL device making.


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