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潔凈室氣流流型檢測方法及注意事項

時間:2016-7-29閱讀:5269
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氣流流型的檢測

1、 氣流流型的檢測包括氣流目測和氣流流向的測試。氣流目測可采用示蹤線法、發(fā)煙(霧)法和采用圖像處理技術(shù)等方法。氣流流向的測試一般采用示蹤線法、發(fā)煙(霧)法和三維法測量氣流速度等方法。

2、 采用示蹤線法時可采用尼龍單絲線、棉線、薄膜帶等輕質(zhì)纖維,放置在測試桿的末端,或裝在氣流中細(xì)絲格柵上,直接觀察出氣流的方向和因干擾引起的波動。

3、采有發(fā)煙(霧)法時,可采用去離子水,用固態(tài)二氧化碳(干冰)或超聲波霧化器等生成直徑為0.5~50μm的水霧,采用四氯化鈦(TiCl4)作示蹤粒子時,應(yīng)確保潔凈室、室內(nèi)設(shè)備以及操作人員不受四氯化鈦產(chǎn)生的酸傷害。

4、 采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測時,由C.5.2得到的在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像數(shù)據(jù),利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特性。圖像處理技術(shù)要求帶有適用的接口和軟件的數(shù)字計算機(jī)。

5、 采用三維法測量氣流速度、采用熱球風(fēng)速計或超聲風(fēng)速計,檢測點選擇在關(guān)鍵工作區(qū)及其工作面高度。根據(jù)建設(shè)方要求需進(jìn)行潔凈室(區(qū))的氣流方向的均勻分布測試時,應(yīng)進(jìn)行多點測試

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