潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。 　　

      潔凈室 每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的*。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

潔凈室控管項(xiàng)目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。 　　2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 　　

3、溫度和濕度之控制。 4、壓力之調(diào)節(jié)。 5、 有害氣體之排除。 　　

 6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 7、靜電之防制。 8、電磁干擾預(yù)防。 　　

 9、安全因素之考慮。 　10、節(jié)能之考量。 　　

潔凈室空氣凈化方法 　　

1 、整體凈化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)全面地以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵?；蚣?xì)菌不會(huì)向四周擴(kuò)散而被平推出室外，而達(dá)到好的除菌效果。 　　

（ 1 ）過(guò)濾除菌技術(shù)：空氣潔凈主要靠或超過(guò)濾設(shè)備，向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過(guò)濾潔凈原理：①網(wǎng)截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運(yùn)動(dòng)阻留。因此，過(guò)濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。 　　

（ 2 ）濾材結(jié)構(gòu)：生物潔凈室所用濾材級(jí)別多數(shù)為或超濾材，所用濾材有：玻璃棉制濾材、紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過(guò)氯乙烯纖維濾材等。濾材對(duì)空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達(dá)到 90%~99% ，超濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。 　　

2 、局部?jī)艋?　　

（ 1 ）潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫(yī)院局部空氣凈化裝置。一般可構(gòu)成垂直層流方式，四周用透明圍幕。整個(gè)罩內(nèi)可保持高潔凈度（萬(wàn)級(jí)至百級(jí)）空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護(hù)，所以也稱無(wú)菌病床層流罩。 　　

（ 2 ）凈化操作臺(tái)：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內(nèi)的空氣，可使操作臺(tái)內(nèi)凈化達(dá)到很別。 　　

（ 3 ）靜電吸附除菌凈化技術(shù)：靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理，在小型化技術(shù)方面有所創(chuàng)新。①采用細(xì)線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級(jí)線裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。 　　

目前有一種三級(jí)凈化裝置，即預(yù)過(guò)濾 - 過(guò)濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌，并采用大風(fēng)量空氣凈化，以保證室內(nèi)空氣凈化次數(shù)，較好地解決了醫(yī)院重點(diǎn)部門(mén)如手術(shù)室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續(xù)消毒問(wèn)題，可使醫(yī)院室內(nèi)空氣的凈化潔凈度達(dá)到 10 萬(wàn)級(jí) ~1 萬(wàn)級(jí)。 　　

（ 4 ）負(fù)離子凈化技術(shù)：負(fù)離子是一種帶負(fù)電的化學(xué)基團(tuán)，能發(fā)生可逆性變化，存在時(shí)間極短，本身并無(wú)殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結(jié)合，形成多個(gè)顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達(dá)到凈化的目的?？諝庵胸?fù)離子只有在具備某些化學(xué)性質(zhì)時(shí)，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物，因此負(fù)離子對(duì)空氣凈化的能力比較有限，對(duì)空氣中微生物粒子清除率只能達(dá)到 70%~90% 。