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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

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產(chǎn)品型號(hào)XT100（M）

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廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2022-07-14 17:15:03瀏覽次數(shù)：944次

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利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

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產(chǎn)品簡介

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點(diǎn)及應(yīng)用：

操作簡單

可靠，方便

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對(duì)真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

改善質(zhì)量

提高流片量

減少停機(jī)時(shí)間

改進(jìn)工藝

縮小工藝周期

降低成本

詳細(xì)介紹

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點(diǎn)及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•減少停機(jī)時(shí)間

•改進(jìn)工藝

•縮小工藝周期

•降低成本

規(guī)格：

測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M）	1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu
檢測類型	法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）	5×10^-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率	1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強(qiáng)	10^-11torr或10^-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍	10^-4torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度	40°C
烘烤溫度	300°C（不包括CCU）
通訊端口	RS-232C，115,200 Baud
軟件運(yùn)行環(huán)境	Windows® 2000或XP