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長(zhǎng)春博盛量子有限公司
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更新時(shí)間：2025-04-15 09:39:30瀏覽次數(shù)：59次
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產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-S品牌名稱：德國(guó)ATLLasertechnikATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設(shè)計(jì)用于低、中占空比的OEM應(yīng)用
產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-S
品牌名稱：德國(guó)ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設(shè)計(jì)用于低、中占空比的OEM應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預(yù)電離技術(shù)
· HV-固態(tài)脈沖發(fā)生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術(shù)的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過(guò)濾器
· 全部風(fēng)冷，溫度控制
· 系統(tǒng)集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光學(xué)鏡架
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· RoHS認(rèn)證
產(chǎn)品應(yīng)用：
· 光譜學(xué)
· 微加工
· 測(cè)試和測(cè)量
產(chǎn)品參數(shù)：
| ATLEX-S產(chǎn)品參數(shù) | |||||
| 氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 | ||
| 波長(zhǎng) | 193 | 248 | nm | ||
| 高壓開(kāi)關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開(kāi)關(guān) | 固態(tài)開(kāi)關(guān) | | ||
| 重復(fù)頻率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
| 脈沖能量1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |||
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |||
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
| 能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差） | < 3 | % | |||
| 尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | 630 x 400 x 300 | mm | |||
| 重量 | 65 | kg | |||
| 冷卻 | Air | | |||
| 電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |||
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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