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真空泵真空區(qū)域的劃分
真空區(qū)域 | 壓強范圍 | |
托(Torr) | 帕(Pa) | |
低真空 | 760~10 | 101325~1333 |
中真空 | 10~10-3 | 1333~1.33×10-1 |
高真空 | 10-3~10-8 | 1.33×10-1~10-6 |
超高真空 | 10-8~10-12 | 10-6~10-10 |
*真空 | <10-12 | <10-10 |
對于需要配前級泵的抽氣機組,主泵選完之后,重要的問題是如何選配合適的前級泵和預(yù)抽泵。選配前級泵的原則是:
(1)前級泵在主泵出口處造成的壓力應(yīng)低于主泵的大排氣壓力
(2)前級泵應(yīng)保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。
(3)兼作預(yù)抽泵的前級泵要滿足預(yù)抽時間及預(yù)抽真空度的要求。
根據(jù)主泵的工作特性不向,配泵可分為兩種情況:一種是主泵需要配前級泵,如擴散泵、分子泵等;另一種是主泵只需要配預(yù)抽真空泵,而不需要配前級泵,如各種吸附冷凝泵等。
主泵配前級泵計算時,需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力,主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右;油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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